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机译:弹簧支撑的膜片电容式MEMS麦克风的建模和优化
Pio Iovenitti; Thurai Vinay; Norizan Mohamad;
机译:使用弹簧式隔膜的新型MEMS电容式麦克风
机译:带有真菌耦合膜片结构的高灵敏度MEMS电容麦克风的设计与表征
机译:弹簧支撑的电容式MEMS麦克风设计的有效膜片面积
机译:应用于电容式麦克风的电容式传感器的闭环接口电路的开发。
机译:带有弹簧支撑膜片的MEMS双背板电容麦克风的设计与建模用于移动设备应用
机译:一种具有高信噪比的梳型电容MEMS麦克风:建模和噪声级分析
机译:一种制造MEMS电容式麦克风的MEMS方法及由该方法制造的MEMS电容式麦克风
机译:电容性MEMS麦克风,在振膜和背板之间具有绝缘支撑
机译:隔膜为MEMS麦克风,以及MEMS麦克风
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